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ZJQ型三叶气冷罗茨真空泵

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概况及原理
气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子1、转子2、泵体4、冷却器7 等组成,由于其特殊的结构设计,使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔,使泵不会因压缩气体而出现过热,但对泵的抽气性能没有任何影响。右图Ⅰ至图Ⅴ是转子在泵腔内旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却器和电机是每台泵必备的附件,冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。泵可以单独使用也可以多台串联使用,或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组,达到更高真空度来满足各类工艺要求。



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